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ATE(반도체핸들러)

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Chiller

MHEX-08S
ate_2407
  • - ±0.2℃의 정밀한 온도 제어를 통한 정확한 Test 환경 제어
  • - 다채널(10CH) 대비 Compact Size
  • - 특수 배관 분기 System으로 CH별 유량 편차 최소화
      (±0.3LPM 이내)
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MHEX-08S
ate_2407
spec
NO ITEM SPECIFICATION REMARK
1 Refrigeration Type HEAT EXCHANGER  
2 Condensation Type Water Cooling Type  
3 Limit Temp. Range 25℃ ~ 35℃  
4 Temp. Accuracy ±0.2℃  
5 Cooling Capacity 8kw (at 30 deg ℃)  
6 Brine Flow Rate Max 30 lpm  
7 PCW Flow Rate [18℃] 30lpm, 2kg/㎠ Minium  
8 Reservoir Tank 26ℓ  
9 Coolant FL-300  
10 Dimension (W)500 X (D)800 X (H)1145 mm  
11 Weight 200Kg  
12 Control PID Control  
13 Display LCD TouchnScreen  
14 Electric Power 3P 220V 50/60Hz, Breaker : 30A  
15 Communication -  
16 Main Parts Pump 1.5Kw  
Heater 4Kw  
17 Connection Brine Φ10 Lok Fitting  
Brine Drain 3/8" Lock Ball Valve  
PCW 1/2" Lock Ball Valve  
18 Room Temp Performance is under environment temperature +25℃  
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